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电子工业用混合气是指在---集成电路(lsi)、---规模集成电路(vlsi)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺(工序)的一类特殊电子混合气。主要有外延(生长)混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。
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试图从标准河南混合气体钢瓶中把标准气取到取样袋或其他容器中,然后再从容器中取样分析,是不可取的,这样造成了二次污染。使得样品气的数据不能真实的表现出来。
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