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电子工业用混合气是指在---集成电路（lsi）、---规模集成电路（vlsi）和半导体器件制造中，用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺（工序）的一类特殊电子混合气。主要有外延（生长）混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。

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