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操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
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高纯---气用于 二氧化硅的 化学气相沉积；作为氧化源与产生 高纯水的反应剂；干法氧化；与 四---碳混合，用于等离子刻蚀。高纯---气的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在 冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。
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