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高纯---化学性能稳定,进行低压放电时显深黄色。一般不生成化合物,在低压放电管中受激发可形成he2+、heh等离子及分子。一般状态下很难和其他物质发生反应,在特定条件下和某些金属可形成化合物。
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高纯---用于 二氧化硅的 化学气相沉积;作为氧化源与产生 高纯水的反应剂;干法氧化;与 四---碳混合,用于等离子刻蚀。高纯---的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在 冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。
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