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高纯---纯度在 99.9999%以内的气体管道 ,采用304 不锈钢球 阀,可以采用法兰连接 ,法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片、总杂质含量≤10ppm的气体管道, 采用用隔膜阀和波纹管阀。 可燃性的高纯---气体必须采用波纹管阀。 阀门采用卡套连接,软金属整片。
高纯---气体管道的施工,不同于一般工业气体管道, 稍有疏忽就会污染气体,影响产品 。
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